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EFEM是半导体工艺设备的尺度组件，是物料搬运系统和各类造程设备高效衔接的沉要桥梁。sunbet官网EFEM占有齐全自主知识产权，集成公司自主研发的晶圆装载系统、大气机械手及晶圆对准装置，可为客户提供种类丰硕的定造化EFEM产品。sunbet官网EFEM选取成熟的尺度化、？榛榧设计，产品质量不变靠得住，不休缩短交货周期，宽泛利用于多个驰名半导体造作工厂。

产品优势

全自研解决规划

大气手、Aligner、SMIF，Loadport等主题部件均自主研发

尺寸多样性

有蕴含TSS系列的产品，有1-4工位多种产品

切合SEMI尺度

已通过SEMI S2 F47 认证

兼容性强

可凭据用户的现实需要进行非标定造

产品参数

晶圆尺寸

3 " 4 " 6 " 8 " 12 "

Loadport数量

1 / 2 / 3 / 4

机械手沉复精度

≤ ±0.1mm

晶圆传输量WPH

≥200

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