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SMIF 晶圆装载装置
SMIF是一种晶圆装载与检测集成装置，合用于150mm和200mm晶圆盒的自动开关盒，效能高，不变性好，沉复定位精度高，干净等级为Class1；拥有兼容150mm和200mm晶圆的mapping职能，能自动检测盒内各槽晶圆状态，例如单片、跨片；拥有实时检测的机械手互锁和光栅互锁职能，能够有效；せ凳忠约叭松戆踩；拥有RFID读取职能。
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SMIF 晶圆装载装置
产品优势
可挂载
可挂载到切合SEMI尺度的EFEM上
自动鉴别
自动鉴别盒内晶圆尺寸以及盒内各槽晶圆状态
防夹手职能
内置防夹手职能
RFID
拥有RFID读取职能
产品参数
沉复地位精度
±0.1mm
晶圆尺寸
6 " 8 "
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