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Loadport 晶圆装载装置
LoadPort是sunbet官网公司自主研发的一种晶圆装载装置，可装置在EFFM上，合用于200mm和300mm晶圆盒的装载，具备正确的mapping职能，可自动鉴别盒内晶圆各槽状态，如单片、跨片、异常片，通过独创的开关门机构和精确的活动节造，实现了高清洁机能，同时拥有优良的不变性和速度。
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Loadport 晶圆装载装置
产品优势
可挂载
可挂载到切合SEMI尺度的EFEM上
自动鉴别
自动鉴别盒内晶圆尺寸以及盒内各槽晶圆状态
防夹手职能
内置防夹手职能
RFID
拥有RFID读取职能
产品参数
沉复地位精度
±0.1mm
晶圆尺寸
8 " 12 "
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